美国RLS激光尺现货

美国RLS激光尺术语表
查找干涉测量激光尺常用技术术语的定义。

Abbé误差
当激光尺轴与工作轴发生偏置时产生Abbé误差。如果平台俯仰或扭摆，则工件的运动与激光尺读数不同。对于偏置d和平台俯仰θ，所产生的Abbé偏置误差为：Abbé误差 = d × sin θ。

精度
精度是一个定性术语，指的是某个对象的测量值与其真实（目标或参考）值之间的一致性.

分光镜
分光镜是一种光学器件，可将一束光分成两束或更多束。它是大多数干涉仪系统的关键部件。

补偿
调整激光尺的位置输出信号以修正位置误差的过程。

相长干涉
当两束相位和频率相似的光波相结合所形成的光束强度比其中任意一束光更加明亮时，即产生相长干涉现象。

相消干涉
当两束频率相似但相位相反的光波相结合所形成的光束强度低于其中明亮的一束光时，即产生相消干涉现象。

频率
频率是测量单位时间内某个重复事件发生次数的物理量。频率的计算方式是，测量某个事件连续发生两次之间的时间（周期），然后再通过计算该时间的倒数得出频率。该结果以赫兹 (Hz) 为单位进行测量，f = 1/T。

测量声音、电磁波（例如无线电或光）、电子信号或其他波的频率时，以赫兹为单位的频率是每秒的重复波形周期数。频率与波长成反比关系。频率f等于波的速度v除以波长λ (lambda)：f = v/λ。

稳频精度
测量激光频率的变化。

非真空环境
大气中充满空气的三维空间。

干涉
干涉是指两个或多个波叠加，产生新的波形的现象。作为常用的术语，干涉通常指相关或相干的波之间由于来自同一个来源或频率相同或几乎相同而产生的干涉现象。（另请参阅相长干涉、相消干涉。）

细分
细分是根据一组离散的已知数据点构建新的数据点的方法。在位置控制中，该术语通常指采集模拟位置信号并通过固定系数将其细分为离散数字信号。

细分盒
细分盒是一种电子装置，可对模拟位置信号进行细分并根据细分系数将其转换为离散的数字计数。例如，周期为158 nm的模拟信号使用4096细分盒可产生分辨率为38.6 皮米的信号。

利萨如图形
利萨如图形是显示正弦和余弦信号的一种方法。它使用三角代数将信号组合成一个圆形形式。采用*的信号处理方案，圆上的一个精确点的数学属性可代表干涉仪运行的许多特性，例如信号强度和在某个时间点的位置。

OEM
原始设备制造商是指制造其他公司终产品所使用的零部件或子系统的公司。

相位
波的相位可将某个特征的位置与波形另一部分中的相同特征（或在另一波形中的相同特征）相关联。测量相位关系，可以是针对时间、距离、波长的一部分或一个角度来进行。

正交
该术语用于描述通过两条导线传输，并靠每个边缘变化得到位置信息的数字串行信号。相位每间隔90º出现一次边缘变化，因此4次边缘转换需要的行程为360º。因此，这被称为正交以表示4个点。通常被称为AQuadB，表示在输出信号时使用A和B导线。该信号通常为RS422 AQuadB，是激光尺位置反馈的标准串行协议。此外，它还可用来定义在所谓“相位正交"中的正弦和余弦信号。

折射率
折射率是指光在空气中的传播速度与光在某个既定波长的折射介质中的传播速度的比值。它表示空气的传播特性，与气温、相对湿度和气压等条件相关。

分辨率
激光尺的分辨率是指它可测量并传输到合适接收器的小距离增量。

电子细分误差 (SDE)
是指通常由利萨如图形的不圆度引起的非累积误差。

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真空
真空是一个部分或全部清除空气的三维空间。有各种级别的真空：

粗或低真空 — 1托至1毫托
中真空 — 1毫托至10微托
高真空 — 1微托至10纳托
超高真空 — 不超过1纳托
其中：1托 = 133.322帕斯卡1个大气压强（海平面气压）= 101.325千帕斯卡 = 760托

波长
波长是指某个波形的重复单元之间的距离。它通常用希腊字母lambda (λ) 表示。正弦波的波长为两个波峰之间的距离。波长λ与频率f（时间内经过某个点的波峰数量）成反比关系。波长等于波型速度除以波的频率。